超纯水水质已成为影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一。半导体、集成电路芯片、液晶显示、高精度线路板、光电器件、电子器件、微电子、集成电路需用大量的纯水、超纯水清洗半成品、成品。设备一般核心工艺为双极RO+EDI等构成。
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